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◆ 多様なサンプルホルダー形状に対応可能 ◆ 導入内径Ø58mm のコンパクト設計 ◆ 複数個のサンプルホルダーに対応
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◆ チルト型ステージで最高の到達冷却能力 ◆ 固定/ チルト複合型ステージが可能
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◆ 面内回転型ステージで最高の到達冷却能力と角度分解能
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◆ 左右対称設計のため、トランスファー方向光入射方向が自由
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◆ X/Y/Z/θステージとの組み合わせにより6軸タイプマニピュレーターに対応
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