ACIGシリーズ超高真空3KVイオンガンは、基板表面に付着しているカーボン膜や酸化膜等をArイオンビームを照射することにより、クリーニングすることを目的として開発されました。
ACIGシリーズの制御コントローラーは2タイプをご用意しています。

永久磁石を組み込んだイオン源を採用していますので、効率の良いイオン化が得られます。差動排気を行うことなく、試料室とイオン化室の差圧が3桁以上でご使用いただける設計ですので、より試料室を良い真空で動作することが出来ます。
お手持ちの真空装置へ接続しやすい省スペース設計です。