品名 |
型式 |
仕様 |
PDF |
DXF |
Ø1"スパッタガン |
ASG-1 |
※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ:Ø36
取付可能ターゲットサイズ:非磁性Ø1" /t5(※1) Max 磁性材Ø1" /t1 Max
※1 熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。(詳細はご相談下さい)
最大入力:100W(RF/DC)
入力コネクタ:N型
ガイドパイプ径:Ø19
冷却水:1L/min以上(Ø1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
| ![](../kikaku/pdf_icon.jpg) |
![](../kikaku/dxf_icon.jpg) |
Ø1"UHVスパッタガン |
ASG-1-UHV |
カソードサイズ:Ø36
取付可能ターゲットサイズ:非磁性Ø1" /t5(※1) Max 磁性材Ø1" /t1 Max
※1 熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。(詳細はご相談下さい)
最大入力:100W(RF/DC)
入力コネクタ:N型
取付フランジ:下記型式の通り
冷却水:1L/min以上(Ø1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
| ![](../kikaku/pdf_icon.jpg) |
![](../kikaku/dxf_icon.jpg) |
*型式・バリエーション* |
型式:ASG-1[@〜B] / ターゲット距離(120〜300)
@-UHV/275:UHV標準ICF70
A-UHV/4S :UHVシャッター付ICF114
B-UHV/4 :UHVシャッター増設可能ICF114
その他特注品、お問い合わせください。
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Ø2"スパッタガン |
ASG-2 |
※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ:Ø63
取付可能ターゲットサイズ:非磁性Ø2" /t5 Max 磁性材Ø2" /t1 Max
最大入力:300W(RF/DC)
入力コネクタ:HN型
ガイドパイプ径:Ø19
冷却水:2L/min以上(Ø1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
| ![](../kikaku/pdf_icon.jpg) |
![](../kikaku/dxf_icon.jpg) |
Ø2"UHVスパッタガン |
ASG-2-UHV |
カソードサイズ:Ø63
取付可能ターゲットサイズ:非磁性Ø2" /t5 Max 磁性材Ø2" /t1 Max
最大入力:300W(RF/DC)
入力コネクタ:HN型
取付フランジ:下記型式の通り
冷却水:2L/min以上(Ø1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
| ![](../kikaku/pdf_icon.jpg) |
![](../kikaku/dxf_icon.jpg) |
*型式・バリエーション* |
型式:ASG-2[@〜B] / ターゲット距離(120〜300)
@-UHV/4 :UHV標準ICF114
A-UHV/6S :UHVシャッター付ICF152
B-UHV/6 :UHVシャッター増設可能ICF152
その他特注品、お問い合わせください。
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Ø3"スパッタガン |
ASG-3 |
※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ:Ø95
取付可能ターゲットサイズ:非磁性Ø3" /t5 Max 磁性材Ø3" /t1 Max
最大入力:500W(RF/DC)
入力コネクタ:HN型
ガイドパイプ径:Ø19
冷却水:2L/min以上(Ø1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
| ![](../kikaku/pdf_icon.jpg) |
![](../kikaku/dxf_icon.jpg) |
Ø3"UHVスパッタガン |
ASG-3-UHV |
カソードサイズ:Ø95
取付可能ターゲットサイズ:非磁性Ø3" /t5 Max 磁性材Ø3" /t1 Max
最大入力:500W(RF/DC)
入力コネクタ:HN型
取付フランジ:下記型式の通り
冷却水:2L/min以上(Ø1/4" SWL継手)
ベーキング:≦150℃
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*型式・バリエーション* |
型式:ASG-2[@〜B] / ターゲット距離(120〜300)
@-UHV/6 :UHV標準ICF152
A-UHV/8S :UHVシャッター付ICF203
B-UHV/8 :UHVシャッター増設可能ICF203
その他特注品、お問い合わせください。
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