- コンパクトセル ACC
|
・ワンフランジに水冷機能、シャッター機構を搭載しています。 ・一体型のコンパクトな設計の蒸着セルです。 ・PDFカタログはこちら ↓ コンパクトセル（PDF) |
 |
|
| 型 式 | ACC-500 | ACC-1000 | ACC-2500 | ACC-3500 |
| ルツボ容量 | 5cc | 10cc | 25cc | 35cc |
| ヒーター材質 | Taワイヤー | |||
| ルツボ材質 | アルミナ/石英/PBN/他 | |||
| 最高加熱温度 | 1300℃ Max.(制御TC ルツボ底部非接触) | |||
| TCタイプ | C-タイプ(W/Re) | |||
| L寸法 | 150/200/250/300(mm) | 200/250/300(mm) | ||
| 取付フランジF | ICF70-FH | ICF114-FH | ||
| 真空内最大径R | Ø36.5 | Ø38 | Ø44 | Ø48 |
| 推奨電源型式 | AHC-400 | AHC-800 | ||
| 標準装備 | 水冷シュラウド(継手1/4")、回転式手動シャッター、TC、ヒーター大気側ケーブル5m | |||
| オプション | ルツボ、チラーユニット | |||
| 特型対応 | L寸法変更、ルツボ材質変更、フラップ式シャッター、圧空作動式回転シャッター | |||
- 低温セル ALTC
|
本セルは、独自開発構造採用により、 設定温度までの昇温時のオーバーシュートが極めて少なく、 有機材料の安定した蒸着が可能なコンパクト低温セルです。 ・常時水冷により、設定温度まで短時間にて昇温・常温まで、 短時間にて冷却が可能です。 ・温度安定性≦±0.1℃ ・シースヒーター採用によりガス雰囲気下でも使用可能です。 ※反応性ガス雰囲気にてご使用の際はお問い合わせ下さい。 ・ネジ2箇所にてアパーチャープレートを取り外し可能で、 ルツボへの材料充填が容易に可能です。 ・PDFカタログはこちら ↓ コンパクトセル（PDF) |
  |
|
| 型 式 | ALTC-035 | ALTC-100 | ALTC-500 | |
| ルツボ容量 | 0.35cc | 1cc | 5cc | |
| ヒーター材質 | シースヒーター インコネル600 | |||
| ルツボ材質 | 窒化アルミ/溶融石英ガラス | |||
| 最高加熱温度 | 500℃ Max.(制御TC ルツボベース中心接触) | |||
| TCタイプ | K-タイプ(AL/CH) | |||
| L寸法 | 150/200/250/300(mm) 選択 | 200/250/300(mm) 選択 | ||
| マウントフランジF | ICF70-FH | |||
| 真空内最大径R | Ø34 | Ø34 | Ø36.5 | |
| 推奨電源型式 | AHC-300 | |||
| 標準装備 | 手動回転式シャッター、TC、ベース水冷式、TC・ヒーター大気側ケーブル5m | |||
| オプション | チラーユニット ルツボ(アパーチャー径Ø2 or Ø4) | |||
| 特型対応 | L寸法変更、ルツボ材質・サイズ変更、マウントフランジサイズ変更、 フラップ式シャッター、圧空作動式シャッター他 |
|||
- 標準セル AMTC
|
・制御温度MAX1300℃まで加熱することが可能です。 ・他社製MBE装置にも取付け可能です。 ・PDFカタログはこちら ↓ コンパクトセル（PDF) |
 |
|
| 型 式 | AMTC-500 | AMTC-1000 | AMTC-2500 | AMTC-3500 |
| ルツボ容量 | 5cc | 10cc | 25cc | 35cc |
| ヒーター材質 | Taワイヤー | |||
| ルツボ材質 | アルミナ/石英/PBN | |||
| 最高加熱温度 | 1300℃ Max.(制御TC ルツボ底部非接触) | |||
| TCタイプ | C-タイプ(W/Re) | |||
| L寸法 | 200/250/300(mm) 選択 | 250/300(mm) 選択 | ||
| マウントフランジF | ICF70-FH | ICF114-FH | ||
| 真空内最大径R | Ø27.2 | Ø30.4 | Ø33.3 | Ø39.5 |
| 推奨電源型式 | AHC-400 | AHC-800 | ||
| 標準装備 | TC・ヒーター大気側ケーブル5m | |||
| オプション | 手動回転式シャッター、ルツボ | |||
| 特型対応 | L寸法変更、ルツボ材質・サイズ変更、マウントフランジサイズ変更、 フラップ式シャッター、圧空作動式シャッター他 |
|||
- 高温セル AHTC
|
・ワンフランジに水冷機能、シャッター機構を搭載しています。 ・一体型のコンパクトな設計の蒸着セルです。 ・PDFカタログはこちら ↓ コンパクトセル（PDF) |
 |
|
| 型 式 | AHTC-500 | AHTC-1000 | AHTC-2500 | |
| ルツボ容量 | 5cc | 10cc | 25cc | |
| ヒーター材質 | Wワイヤー | |||
| ルツボ材質 | BN | |||
| 最高加熱温度 | 1800℃ Max.(制御TC ルツボ底部非接触) | |||
| TCタイプ | C-タイプ(W/Re) | |||
| L寸法 | 300/350/400(mm) 選択 | 350/400(mm) 選択 | ||
| マウントフランジF | ICF114-FH | ICF152-FH | ||
| 真空内最大径R | Ø51 | Ø54 | Ø58 | |
| 推奨電源型式 | AHC-800 | AHC-1000 | ||
| 標準装備 | 水冷シュラウド、TC・ヒーター大気側ケーブル5m | |||
| オプション | チラーユニット、手動回転式シャッター、ルツボ | |||
| 特型対応 | L寸法変更、ルツボ材質・サイズ変更、マウントフランジサイズ変更、 フラップ式シャッター、圧空作動式シャッター他 |
|||
