| 品名 |
型式 |
仕様 |
PDF |
DXF |
| φ1"スパッタガン |
ASG-1 |
※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ：φ36
取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ1" /t5 Max 磁性材φ1" /t1 Max
最大入力：100W(RF/DC)
入力コネクタ：N型
ガイドパイプ径：φ19
冷却水：1L/min以上（φ1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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| φ1"UHVスパッタガン |
ASG-1-UHV |
カソードサイズ：φ36
取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ1" /t5 Max 磁性材φ1" /t1 Max
最大入力：100W(RF/DC)
入力コネクタ：N型
取付フランジ：下記型式の通り
冷却水：1L/min以上（φ1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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*型式・バリエーション* |
型式：ASG-1[①～③] / ターゲット距離(120～300)
①-UHV/275：UHV標準ICF70
②-UHV/4S ：UHVシャッター付ICF114
③-UHV/4 ：UHVシャッター増設可能ICF114
その他特注品、お問い合わせください。
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| φ2"スパッタガン |
ASG-2 |
※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ：φ63
取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ2" /t5 Max 磁性材φ2" /t1 Max
最大入力：300W(RF/DC)
入力コネクタ：HN型
ガイドパイプ径：φ19
冷却水：2L/min以上（φ1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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| φ2"UHVスパッタガン |
ASG-2-UHV |
カソードサイズ：φ63
取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ2" /t5 Max 磁性材φ2" /t1 Max
最大入力：300W(RF/DC)
入力コネクタ：HN型
取付フランジ：下記型式の通り
冷却水：2L/min以上（φ1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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*型式・バリエーション* |
型式：ASG-2[①～③] / ターゲット距離(120～300)
①-UHV/4 ：UHV標準ICF114
②-UHV/6S ：UHVシャッター付ICF152
③-UHV/6 ：UHVシャッター増設可能ICF152
その他特注品、お問い合わせください。
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| φ3"スパッタガン |
ASG-3 |
※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ：φ95
取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ3" /t5 Max 磁性材φ3" /t1 Max
最大入力：500W(RF/DC)
入力コネクタ：HN型
ガイドパイプ径：φ19
冷却水：2L/min以上（φ1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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| φ3"UHVスパッタガン |
ASG-3-UHV |
カソードサイズ：φ95
取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ3" /t5 Max 磁性材φ3" /t1 Max
最大入力：500W(RF/DC)
入力コネクタ：HN型
取付フランジ：下記型式の通り
冷却水：2L/min以上（φ1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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*型式・バリエーション* |
型式：ASG-2[①～③] / ターゲット距離(120～300)
①-UHV/6 ：UHV標準ICF152
②-UHV/8S ：UHVシャッター付ICF203
③-UHV/8 ：UHVシャッター増設可能ICF203
その他特注品、お問い合わせください。
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