製品案内｜AVC Co,.LTD　株式会社エイブイシー　分析装置試料作成装置

規格品 >> Vacstage｜排気ユニット

製品案内・規格品

製品案内 >> 規格品 >> Vacstage シャッター／スクリーン

シャッター／スクリーン

ビューポート用シャッター/AVS

ビューイングポートフランジへの蒸着防止
シャッター板の開閉位置の自由調整が可能

許容リーク量	≦1.33x10-11Pa・m3/sec
駆動方式	マグネットカップリング方式
許容加熱温度	≦200℃
開閉角度	≦90°

型式	A接続フランジ	B内径（mm）	C （mm）	D （mm）	E （mm）	F （mm）	G (mm)	適用パイプ内径(mm)	開閉角度	重量（Kg）	PDF	DXF
AVS-275-1	ICF70-FH	Ø39	25	131	26.5	19	13	Ø39.4	90°	0.8
AVS-4-1	ICF114-FH	Ø65	17.5	158.5	53.6	45.8	23	Ø72.3		1.2
AVS-6-1	ICF152-FH	Ø102	20	178.5	93	65	25	Ø110.3		1.7
AVS-8	ICF203-FH	Ø155	22	214.5	125	116	52	Ø159.2		2.6
AVS-10	ICF253-FH	Ø205	25	244.5	169	145.5	58	Ø210.3		3.6

※ご使用時はビューイングポートが必要となります。

スクリーン付シャッター/ASS

RHEEDの回折像モニターに最適
スクリーンへの蒸着を防止し、長寿命なRHEED観測が可能

許容リーク量	≦1.33x10-11Pa・m3/sec
駆動方式	マグネットカップリング方式
許容加熱温度	≦200℃
開閉角度	≦90°
蛍光材	緑色発光体

型式	A接続フランジ	B内径（mm）	C （mm）	D （mm）	E （mm）	F （mm）	G (mm)	適用パイプ内径(mm)	開閉角度	重量（Kg）	PDF	DXF
ASS-6-1/S1	ICF152-FH	98	30	178.5	86	66.5	25	Ø110.3	90°	2.8
ASS-8-1	ICF203-FH	148	30	214.5	120	119	52	Ø159.2	90°	3.5

※ご使用時はビューイングポートが必要となります。

スクリーン/AS

RHEEDの回折像モニターに最適
独自技術によりピンホールやムラのない蛍光膜
蛍光膜の塗布範囲をご要望に応じ
製作可能

許容加熱温度	≦200℃
材質	鉛ガラス
蛍光材	緑色発光体

型式	A （mm）	B （mm）	重量（Kg）	PDF	DXF
AS-275-1	Ø30	6	0.01
AS-4-1	Ø62		0.03
AS-6-1	Ø100		0.1
AS-8-1	Ø150		0.2

スクリーン付ホルダー/ASH

チェンバー、ビューイングポート間に増設可能

許容加熱温度	≦200℃
蛍光材	緑色発光体

型式	A接続フランジ	B （mm）	C内径（mm）	重量（Kg）	PDF	DXF
ASH-275-1	ICF70-FH	12.7	Ø28	0.4
ASH-4-1	ICF114-FH	13	Ø60	0.9
ASH-6-1	ICF152-FH		Ø98	1.3
ASH-8-1	ICF203-FH		Ø148	1.9

※ご使用時はビューイングポートが必要となります。