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規格品
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ビューポート
窓付交換ハッチ/AAD
Oリングシール方式を採用
覗き窓標準付属
許容リーク量
≦1.33x10
-9
Pa・m
3
/sec
真空シール方式
バイトンOリング
許容加熱温度
≦150℃
窓材質
テンパックスガラス
型 式
A接続フランジ
B内径(mm)
C内径(mm)
D
(mm)
E
(mm)
F
(mm)
開閉角度
重量
(Kg)
PDF
DXF
AAD-275
ICF70-FT
Ø38
Ø39
26.3
36
98
120°
0.6
AAD-275H
ICF70-FH
Ø38
Ø37
26.3
36
98
0.6
AAD-4
ICF114-FH
Ø56
Ø62
34
48
141
1.8
AAD-6
ICF152-FH
Ø96
Ø96
42
58
192
3.3
AAD-8
ICF203-FH
Ø115
Ø146
43
60
243
5.9
AAD-10
ICF253-FH
Ø194
45
63
301
115°
10.9
ビューポート/AOV
窓材:合成石英
窓材のみの交換が可能
レーザー光の導入に最適
許容リーク量
≦1.33x10
-9
Pa・m
3
/sec
真空シール方式
バイトンOリング
許容加熱温度
≦150℃
窓材質
合成石英
型 式
A接続フランジ
B内径
(mm)
C
(mm)
重量
(Kg)
PDF
DXF
AOV-275
ICF70-FH
Ø30
15.7
0.3
AOV-4
ICF114-FH
Ø63
21
1
AOV-6
ICF152-FH
Ø98
23
1.7
鉛ガラス入りビューポートカバー/AVLC
覗き窓からの放射線遮蔽に最適
減衰能力
X線管電圧30KV以下
許容加熱温度
≦200℃
型 式
A接続可能フランジ
B内径
(mm)
C
(mm)
D
(mm)
E
(mm)
重量
(Kg)
PDF
DXF
AVLC-133-1
ICF34
Ø17
25
18
Ø42.5
0.05
AVLC-275-1
ICF70
Ø42
21
14
Ø78
0.1
AVLC-4-1
ICF114
Ø87
31
24
Ø119.5
0.2
AVLC-6-1
ICF152
Ø122
35
28
Ø159.5
0.4
AVLC-8-1
ICF203
Ø182
Ø212
0.7
(鉛ガラス t5)
ビューポートカバー/AVPC
ステンレス一体成型でガラスの保護遮光に利用
ベーキング時のビューポート保温に最適
許容加熱温度
≦200℃
材質
SUS304
型 式
A接続可能フランジ
B
(mm)
重量
(Kg)
PDF
DXF
AVPC-133
ICF34
15
0.01
AVPC-275
ICF70
20
0.03
AVPC-4
ICF114
25
0.08
AVPC-6
ICF152
30
0.13
AVPC-8
ICF203
32
0.2
パスライト・ビュー/ALS
装置内の温度を上昇させずにチェンバー内照明と観察が可能
※オプションで、CMOSカメラ・液晶モニターを取り付けることが出来ます
ICF70/ICF114ビューポートフランジに取り付け可能
CMOSカメラによりチェンバー内のモニタ・撮影が可能
偏光フィルターにより高温加熱部の観察が可能
特許第5555104号 真空装置用照明器具(パスライト)
型 式
接続可能フランジ
視野径
入力
ライト
サイズ
PDF
DXF
ALS-133-2
ICF34
Ø5mm
AC100V
LED4灯式
Ø58x53mm
ALS-275-2
ICF70
Ø26mm
LED6灯式
Ø75x64mm
ALS-4-2
ICF114
Ø46mm
LED12灯式
Ø122x61mm
ALS-133-2
ALS-275-2
ALS-4-2
パスライト・ビュー用CMOSカメラ/ALS-J2
デジタル映像の207万画素(1920*1080)の高解像で、動画・画像撮影に対応
※配線数の削減、マウス操作が可能
搬送ロッドなどの位置決めに使用可能な、縦横それぞれ8本、計16本の線を、
任意の位置に表示することが可能
CMOSカメラによりチェンバー内のモニタ・撮影が可能
簡易画像測定機能により、真空中から撮影対象物を取り出すことなく、
寸法、角度、面積などの測定が可能
※精度はキャリブレーションに依存します。
デジタルズームにより、最大10倍まで拡大して表示することが可能です。
撮影対象物との距離が100mm〜無限遠の範囲で使用することが可能
・PDFカタログはこちら
↓
パスライト・ビュー用CMOSカメラ(PDF)
型 式
出力
サイズ
解像度
入力
対応OS
ALS-J2
HDMI / PC (USB Type C)
約Ø60mm x 75.5mm(レンズ含む)
1920 x 1080 (FHD) 2MP
USB Type C (5V2A)
Windows,Mac OS,Linux
ポラライザー/ALS-275-2P・ALS-4-2P
偏光フィルターを採用し、ビューポートから覗く時に光量を調節する事ができ、高温加熱部の観察を行う事が可能です
パスライト・ビューと組み合わせて使用でき、LEDの明るさを調節し観察出来ます
型 式
A 接続可能フランジ
B
(mm)
C(視野径)
(mm)
D
(mm)
E
(mm)
重量
(kg)
PDF
DXF
ALS-275-2P
ICF70
Ø75
Ø38
Ø42
Ø70
0.5
ALS-4-2P
ICF114
Ø119
Ø61
Ø65
Ø110
1.4