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>> Vacstage トランスファー
トランスファー
各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が、大気側から操作できます。
サンプルトランスファー/AST
AST-RL-1:AMF-275用
簡単な操作でホルダーの脱着が可能
特願2013-095473 材料搬送器具(サンプルトランスファー)
AST-MH-16:AMFW-275用
任意なホルダー形状に対応可能
AST-DP:AMWS-275用
駆動方式
スプリング式(RLのみ)
許容加熱温度
≦200℃
材質
SUS304(スプリングは除く)
型 式
重量
(Kg)
PDF
DXF
AST-RL-1
0.08
AST-MH/16
0.08
AST-DP
0.05
ベローズニップル/AAN
圧力10
-8
Pa以下の超高真空領域対応
成型ベローズを採用
移動範囲:±3°
許容リーク量
≦1.33x10
-11
Pa・m
3
/sec
真空シール方式
成形ベローズ方式
駆動方式
ネジ式
許容加熱温度
≦200℃
型 式
A接続フランジ
B移動フランジ
C
(mm)
傾斜角
重量
(Kg)
PDF
DXF
AAN-275
ICF70-FH
ICF70-FT
50
±3°
0.7