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規格品
>> Vacstage マニピュレーター
マニピュレーター
各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。
３軸マニピュレーター/AMP
圧力10
-8
Pa以下の超高真空領域対応
SM型：±12.5mm(0.01mm)
LM型：±12.5mm(0.005mm)
ICF34-FT導入ポート付
(AMP-4は含まず)
モーター駆動にも対応可能
許容リーク量
≦1.33x10
-11
Pa・m
3
/sec
真空シール方式
溶接ベローズ方式
駆動方式
ネジ式
許容加熱温度
≦200℃
マイクロメーター部除く
型 式
XY軸移動距離
(mm)
XY軸移動精度
(mm)
Z軸移動距離
(mm) /
Z軸移動精度
(mm)
A接続フランジ
B移動フランジ
C
（mm）
D
（mm）
E
（mm）
重量
（Kg）
PDF
DXF
AMP-4/275/50SM
±12.5
0.01
50 / 1
ICF114-FH
ICF70-FT
235〜285
319
-
11
AMP-4/275/100SM
100 / 1
240〜340
374
12
AMP-4/275/150SM
150 / 1
245〜395
430
13
AMP-4/275/200SM
200 / 1
250〜450
484
14
AMP-4/275/50LMS
±12.5
0.005
50 / 1
235〜285
325
11
AMP-4/275/100LMS
100 / 1
240〜340
380
12
AMP-4/275/150LMS
150 / 1
245〜395
435
13
AMP-4/275/200LMS
200 / 1
250〜450
490
14
AMP-6/275/50SM
±12.5
0.01
50 / 1
ICF152-FH
ICF70-FT
235〜285
319
ICF34-FTx4
12
AMP-6/275/100SM
100 / 1
240〜340
374
13
AMP-6/275/150SM
150 / 1
245〜395
430
13
AMP-6/275/200SM
200 / 1
250〜450
484
14
AMP-6/275/50LMS
±12.5
0.005
50 / 1
235〜285
325
12
AMP-6/275/100LMS
100 / 1
240〜340
380
13
AMP-6/275/150LMS
150 / 1
245〜395
435
14
AMP-6/275/200LMS
200 / 1
250〜450
490
15
AMP-8/275/50SM
±12.5
0.01
50 / 1
ICF203-FH
ICF70-FT
235〜285
319
ICF34-FTx5
13
AMP-8/275/100SM
100 / 1
240〜340
374
14
AMP-8/275/150SM
150 / 1
245〜395
430
15
AMP-8/275/200SM
200 / 1
250〜450
484
16
AMP-8/275/50LMS
±12.5
0.005
50 / 1
235〜285
325
13
AMP-8/275/100LMS
100 / 1
240〜340
380
14
AMP-8/275/150LMS
150 / 1
245〜395
435
15
AMP-8/275/200LMS
200 / 1
250〜450
490
16
XYステージ/AXY
圧力10
-8
Pa以下の超高真空領域対応
NM型：±12.5mm
SM型：±12.5mm(0.01mm)
LM型：±12.5mm(0.005mm)
モーター駆動にも対応可能
許容リーク量
≦1.33x10
-11
Pa・m
3
/sec
真空シール方式
溶接ベローズ方式
駆動方式
ネジ式
許容加熱温度
≦200℃
マイクロメーター部除く
型 式
XY軸移動距離
(mm) /
XY移動軸精度(mm)
A接続フランジ
B移動フランジ
C内径
（mm）
D
（mm）
E
（mm）
F
（mm）
重量
（Kg）
PDF
DXF
AXY-275NM
±12.5 / 1.0
ICF70-FT
ICF70-FT
Ø39
130
145.5±12.5
90
3.1
AXY-275SM
±12.5 / 0.01
199.5±12.5
3.4
AXY-275LM
±12.5 / 0.005
193.5±12.5
3.5
AXY-4/275NM
±12.5 / 1.0
ICF114-FT
ICF70-FT
145.5±12.5
3.8
AXY-4/275SM
±12.5 / 0.01
199.5±12.5
3.9
AXY-4/275LM
±12.5 / 0.005
193.5±12.5
4.1
AXY-4/4NM
±12.5 / 1.0
ICF114-FT
ICF114-FT
Ø70
180
170.5±12.5
130
8.1
AXY-4/4LM
±12.5 / 0.005
218.5±12.5
8.4
AXY-6/4NM
±12.5 / 1.0
ICF152-FT
ICF114-FT
170.5±12.5
9.8
AXY-6/4LM
±12.5 / 0.005
218.5±12.5
10
AXY-8/4NM
±12.5 / 1.0
ICF203-FT
ICF114-FT
170.5±12.5
150
12
AXY-8/4LM
±12.5 / 0.005
218.5±12.5
※Xステージもございます。
チルトステージ/ATS
圧力10
-8
Pa以下の超高真空領域対応
移動角度：±5°
許容リーク量
≦1.33x10
-11
Pa・m
3
/sec
真空シール方式
溶接ベローズ方式
駆動方式
ネジ式
許容加熱温度
≦200℃
マイクロメーター部除く
型 式
A接続フランジ
B移動フランジ
C内径
（mm）
D
（mm）
E
（mm）
F
（mm）
G
（mm）
H
（mm）
傾斜角
重量
（Kg）
PDF
DXF
ATS-275
ICF70-FH
ICF70-FT
Ø38
118±6.5
45
80
Ø110
160
±5°
2
ATS-4
ICF114-FH
ICF114-FT
Ø70
129±6.5
53
95
Ø155
205
4.7
各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。
各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。