- 電源類
- パワーソース
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仕様 JISラックマウントタイプ※EIAタイプはご相談ください。 標準サイズ480（W)ｘ149（H)ｘ430（D) 漏電ブレーカー：定格感度電流30ｍA。動作時間0.1sec以下 定格電流 単相、三相ご相談ください。定格電流15A,20A,30A,50Aなど 入出力は、端子台式になっております。 出力は、30AMAXの端子台になっております。 オプション ・ブレーカーの数。標準は、AC100V1個、AC200V1個となりますので、その他は、オプションとさせていただきます。 ・ポンプスイッチは、ボックス内部に、電磁開閉器、サーマルリレーを配置してあります。モーター容量は、500W以下は標準となります。 ・ポンプスイッチは、ブレーカーが2個であれば、2個設定することができます。 |
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- ヒーターコントローラー
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仕様 JISラックマウントタイプ 標準サイズは、480（W)x149（H)ｘ430（D) 入力電圧は、AC100V〜200Vとなります。出力タイプにより、電流値は異なります。 温度コントローラーは、高性能モデルを採用しています。 電圧出力は、表からお選びしてください。 ※その他の容量はご相談ください。
制御熱電対は、Cタイプ、W-WRｅ（5-26）タイプが標準となります。 ※その他はご相談ください。 入力ケーブル：1.5ｍ付 出力ケーブル：5ｍ付 |
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- ベーキングコントローラー
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仕様 JISラックマウントタイプ 標準サイズは、480（W)x99（H)ｘ450（D) 入力電圧は、2系統あり、接続した電圧が、出力されます。 出力は、5系統。 例1 入力 AC100V 出力 AC100V8A2か所 入力 AC100V 出力 AC100V8A3か所 例2 入力 AC100V 出力 AC100V8A2か所 入力 AC200V 出力 AC200V8A3か所 ・制御時間は、タイマー時間により設定できます。 ・外部信号により、タイマーRESETができます。出力はすべてOFFとなります。 |
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- 高周波電源
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仕様 標準サイズは、280（W)x130（H)ｘ303（D) 本機は高周波を用いて行うスパッタリング、プラズマ放電装置等に対応出来ます。 高周波出力電力は最大100Wで、その出力電力は可変することが出来、 その制御方法は本機又は外部より0〜50VDCを加えることにより、 その電圧に対応した高周波出力電力が得られます。 |
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- EB加熱用制御電源
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仕様 ヒーター通電加熱とEB加熱の併用で、シリコンサンプルなどの通電加熱や EB加熱を容易に制御可能となります。 標準サイズは、480（W)x149（H)ｘ430（D) 型式(出力)：AHC-400EB(400W)、AHC-500EB(500W) 入力：AC200V HV：0〜1KV可変可能 EMISS：最大500mA ヒーター出力：20V/20A 温度調整器：KP1000 PIDマルチステップ T/C：W/WRe(Cタイプ) T/Cケーブル：5m 入力ケーブル：5m オプション機能：温度調節にて出力制御可能(HV500V最大) |
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